> 熱酸化の機構として一般的に認められているのは、リニアパラボリックモデルである。
> このモデルの場合、まず熱酸化は、酸化剤が酸化膜中での内側への移動によって進
> 行することを仮定している。厚さX0のSiO2がSi表面上に既にできている場合を考え
> ると、酸化剤がSi表面に達するまでの過程は、次の3段階に分けられる。
> １・酸化剤が参加性雰囲気からSiO2表面に移動して反応、または吸着する。
> ２・酸化剤が酸化膜中をSi表面に向かって拡散する。
> ３・酸化剤がSi表面でSiと反応してSiO2の新しい層を形成する。

んなことしりか！

参考：2001/05/10(木)03時40分15秒